PSA
PSAアルゴンガス発生装置 Ar-PSA
本装置は、RH 真空脱ガス炉・シリコン単結晶引上げ装置等から排出されるアルゴンリッチガスを高純度のアルゴンガスに精製分離することができます。
| 規格ほか | |
|---|---|
| 原理 | 吸着剤ゼオライトでは、窒素、一酸化炭素、炭酸ガスに比べ、アルゴンの吸着量は小さく分離が可能となります。 従って、上記のガス等を含むアルゴン混合ガスから高純度アルゴンの回収精製が行われます。 |
| 特長 | 1. 高純度アルゴン（max. 99.999％）の回収が可能です。 2. アルゴン回収率が70 〜80％と高率。 |
| 用途 | 1. 鉄鋼業 RH 真空脱ガスからのアルゴン回収。 連鋳設備排ガスからのアルゴン回収。 LF 炉排ガスからのアルゴン回収。 2. 半導体 シリコン単結晶排ガスからのアルゴン回収。 3. その他 各種アルゴン含有排ガスからのアルゴン回収。 |
| 仕様 | 能 力: max. 1,000㎥/h（nor.） 1系列当り 純 度: max. 99.999％ 圧 力: 0.49 〜0.69MPaG 水 分: 露点 −70℃ at 1atm |
ガスケミカル
⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料（⼯業薬品）や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品（ケミカルガス）を⽣産しています。
工業薬品：チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス：液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素
