ガス・
エンジニアリング

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PSA

PSA窒素ガス発生装置

PSA窒素ガス発生装置 N2-PSA

1979 年ベルクバウ社製の吸着剤、カーボンモレキュラシーブ(CMS)を利用したPSA 法による窒素ガス発生装置の1 号機を設置するとともに販売してまいりました。

  規格ほか
原理 酸素の分子径は窒素より小さいので、CMS の微細孔にいち早く拡散し、吸着されます。また空気中の水分および炭酸ガスも酸素と同様に吸着されます。上図は、窒素と酸素の吸着平衡量に対する吸着量の割合すなわち吸着速度と吸着時間との関係を示したもので、酸素の方が窒素に比べて吸着速度がはるかに高いことがわかります。窒素ガス発生装置は、このようなCMS の特性を利用した方法を採用しています。
特長 1. 窒素ガスが自社で安く製造できます。
2. 大型から小型まで多くの実績があります。
3. ニーズに応じた対応ができます。
  
低濃度から高濃度まで、ご希望のN2-PSA を製作いたします。
4. 使用条件に応じた自動運転が可能です。
用途 1. 不活性ガスシール
爆発性、引火性物質のシールおよび輸送用
2. パージング
タンク、パイプ等のパージ用
3. 熱処理
光輝焼入れ、光輝焼鈍、浸炭、窒化、焼きもどし等の雰囲気ガス用
4. 雰囲気調整
タイヤ加硫装置用、食用油などの酸化防止用、およびCA貯蔵用
5. 食品包装
お茶・インスタントコーヒー・菓子などの食品の品質劣化防止用
6. 半導体および電子部品等の製造用
7. リフロー炉用
仕様 能 力:2,000㎥/h(nor.) at 99% 1 系列当り
純 度:95 〜99.999% (N2+Ar)
オプションによりO2:10ppm 以下の製作も可能です。
圧 力:0.44MPaG
水 分:露点 −60℃ at 1atm

半導体用ガス

半導体用ガス

IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造⽤の特殊材料ガスを⽣産しています。

NH3、CO、NO、C3H6 など

スペシャルティガス

スペシャルティガス

分析基準の標準ガス、工業材料の混合ガス、高純度ガスなどを生産しています。

JCSS標準ガス、高純度液化ガス、高純度圧縮ガス、一般標準ガス、混合ガス、圧力調整器、調整弁

ガスケミカル

ガスケミカル

⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料(⼯業薬品)や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品(ケミカルガス)を⽣産しています。

工業薬品:チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス:液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素

エンジニアリング

エンジニアリング

PSA技術を利⽤したガス発⽣装置、ガス回収精製装置を⽣産しています。

O2-PSA装置、He回収精製装置 など

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