ガス・
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PSA

PSA炭酸ガス回収精製装置

PSA炭酸ガス発生装置 CO2-PSA

本装置は、燃焼排ガス等の炭酸ガスを含む原料ガスより、濃度99%以上の高純度炭酸ガスを簡単に、かつ安価に回収するものです。1987 年に工業規模では世界で初めて3,000㎥/h(nor.)の1 号機を納入し、現在順調に稼動中です。また、液化設備を追加することにより、安価な液化炭酸ガスが得られます。当社は、この分野でも多数の建設実績と高い評価を得ています。

  規格ほか
原理 炭酸ガス回収の場合の吸着剤は図に示すように炭酸ガスを窒素に比べ大量に吸着します。
この性質を利用して吸着した炭酸ガスを真空ポンプで脱着し、高純度炭酸ガスとして回収するものです。
特長 1. 炭酸ガスが安価で得られます。
ローリーで購入する場合に比べて1/2 〜1/3 です。
2.99%以上の炭酸ガスが得られます。
3. ランニングコストが安価です。
従来の大量にスチームを使用する化学吸収法など他のプロセスに比べ安価に炭酸ガスが得られます。
4. 起動後速やかに製品炭酸ガスが得られます。
仕様 能 力: 3,000㎥/h(nor.)1 系列当り
純 度: 99%
圧 力: 0.069 〜2.45MPaG
水 分: 露点 −10℃ at 1atm

半導体用ガス

半導体用ガス

IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造⽤の特殊材料ガスを⽣産しています。

NH3、CO、NO、C3H6 など

スペシャルティガス

スペシャルティガス

分析基準の標準ガス、工業材料の混合ガス、高純度ガスなどを生産しています。

JCSS標準ガス、高純度液化ガス、高純度圧縮ガス、一般標準ガス、混合ガス、圧力調整器、調整弁

ガスケミカル

ガスケミカル

⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料(⼯業薬品)や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品(ケミカルガス)を⽣産しています。

工業薬品:チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス:液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素

エンジニアリング

エンジニアリング

PSA技術を利⽤したガス発⽣装置、ガス回収精製装置を⽣産しています。

O2-PSA装置、He回収精製装置 など

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