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機能マテリアル

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半導体用ガス

半導体用ガス

IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造⽤の特殊材料ガスを⽣産しています。

NH3、CO、NO、C3H6 など

スペシャルティガス

スペシャルティガス

分析基準の標準ガス、工業材料の混合ガス、高純度ガスなどを生産しています。

JCSS標準ガス、高純度液化ガス、高純度圧縮ガス、一般標準ガス、混合ガス、圧力調整器、調整弁

ガスケミカル

ガスケミカル

⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料（⼯業薬品）や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品（ケミカルガス）を⽣産しています。

工業薬品：チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス：液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素

エンジニアリング

エンジニアリング

PSA技術を利⽤したガス発⽣装置、ガス回収精製装置を⽣産しています。

O2-PSA装置、He回収精製装置 など

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