半導体用ガス
IC・メモリー・液晶・太陽電池等の
半導体製造に欠かせないガス
当社は1970年代にはじめて半導体グレードの高純度NH3を開発して以来、総合化学メーカーとして培ったガスの合成・精製技術を応用して多種多様な超高純度ガスを製造しております。これらのガスは、成膜(CVD、ALD)、エッチング、ドーピング、エピタキシャル成長など、様々な半導体製造プロセスに用いられます。
スマートフォン・ディスプレイ・太陽電池といった生活に身近な電子機器には、IC・メモリ・パワー半導体など数多くの半導体製品が搭載されております。
私たちは高純度・高品質のガスを安定供給することで人々の豊かな生活に貢献しております。
ガスケミカル
⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料（⼯業薬品）や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品（ケミカルガス）を⽣産しています。
工業薬品：チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス：液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素
