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高純度圧縮ガス(Compressed Pure Gases）

高純度圧縮ガス(Compressed Pure Gases） PDF CONTACT

Air　合成空気
Ar　アルゴン
CH₄　メタン
CO　一酸化炭素
H₂　水素
He　ヘリウム
N₂　窒素
NO　一酸化窒素
O₂　酸素
Ne　ネオン
Kr　クリプトン
Xe　キセノン
D₂　重水素

Air 合成空気国連番号 1956

グレード	ZERO-A	ZERO-F	ZERO-K (JCSS)	ZERO-U	ZERO-N
純度	O₂ 20-21.5%	O₂ 20-21.5%	O₂ 20-21.5%	O₂ 20.5-20.9%	O₂ 20.5-20.9%
N₂	78.5-80%	78.5-80%	78.5-80%	79.1-79.5%	79.1-79.5%
CO	< 1 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm	< 0.01 ppm
CO₂	< 2 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm	< 1 ppm	< 0.02 ppm
CH₄	< 3 ppm ※	< 0.5 ppm ※	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm ※	< 10 ppb ※
SO₂			< 0.1 ppm	< 0.01 ppm	< 5 ppb
NO_X			< 0.1 ppm	< 0.01 ppm	< 5 ppb
H₂O	< 10 ppm	< 5 ppm	< 5 ppm	< 5 ppm	< 1 ppm
容器	3.4L･10L･40L･47L	10L･40L･47L	3.4L･10L･40L･47L	3.4L･10L･40L･47L	47L
充填量	11.76MPa
容器弁	B･W22･14･OR
備考	全炭化水素（メタン換算値）
圧力調整器	YBR

は全炭化水素（メタン換算値）

Ar アルゴン国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1

グレード	ZERO-A	ZERO-U
純度	＞99.999 %	＞99.9999 %
O₂	< 2 ppm	< 0.2 ppm
N₂	< 10 ppm	< 1 ppm
CO	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm
CO₂	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm
CH₄	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm
H₂O	< 5 ppm	< 0.5 ppm
容器	3.4L･10L･40L･47L
充填量	11.76MPa
容器弁	B･W22･14･OR
圧力調整器	YBR

CH₄ メタン国連番号 1971 CAS No. 74-82-8

グレード	PURE	UHP
純度	＞99.0 %	＞99.9 %
O₂	< 500 ppm	< 50 ppm
N₂	< 5000 ppm	< 1000 ppm
CO₂	< 5000 ppm	< 10 ppm
H₂O		< 5 ppm
容器	3.4L･10L･47L
充填量	11.76MPa	9.80MPa
容器弁	B･W22･14･OL
圧力調整器	YBL

CO 一酸化炭素国連番号 1016 CAS No. 630-08-0

グレード	PURE	UHP
純度	＞99.9 %	＞99.95 %
O₂	< 100 ppm	< 30 ppm
N₂	< 500 ppm	< 150 ppm
CO₂	< 100 ppm	< 30 ppm
H₂	< 100 ppm	< 15 ppm
CH₄		< 1 ppm
H₂O	< 10 ppm	< 3 ppm
容器	3.4L･10L･47L
充填量	9.80MPa
容器弁	B･W22･14･OL
圧力調整器	YSL

H₂ 水素国連番号 1049 CAS No. 1333-74-0

グレード	ZERO-A	ZERO-F	ZERO-U
純度	＞99.998 %	＞99.9995 %	＞99.9999 %
O₂	< 1 ppm	< 1 ppm	< 0.1 ppm
N₂	< 10 ppm	< 2 ppm	< 0.5 ppm
CO	< 1 ppm	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm
CO₂	< 1 ppm	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm
CH₄	< 1 ppm	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm
H₂O	< 5 ppm	< 2 ppm	< 0.5 ppm
容器	3.4L･10L･40L･47L
充填量	11.76MPa
容器弁	B･W22･14･OL
圧力調整器	YBL

He ヘリウム国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

グレード	ZERO-A	ZERO-U	ZERO-H
純度	＞99.999 %	＞99.9999 %	＞99.9999 %
O₂	< 1 ppm	< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
N₂	< 2 ppm	< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
CO	< 1 ppm	< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
CO₂	< 1 ppm	< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
CH₄	< 1 ppm	< 0.1 ppm	< 720 ppt ※
H₂O	< 5 ppm	< 0.5 ppm	< 0.5 ppm
容器	3.4L･10L･40L･47L	10L･40L･47L	47L
充填量	11.76MPa	11.76MPa	14.70MPa
容器弁	B･W22･14･OR
備考	※ 全炭化水素（メタン換算値）
圧力調整器	YBR

は全炭化水素（メタン換算値）

N₂ 窒素国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9

グレード	ZERO-A	ZERO-K (JCSS)	ZERO-U	ZERO-H
純度	＞99.999 %	＞99.999 %	＞99.9999 %	＞99.9999 %
O₂	< 2 ppm	< 1 ppm	< 0.2 ppm	< 0.2 ppm
CO	< 1 ppm	< 0.5 ppm	< 0.2 ppm	< 0.2 ppm
CO₂	< 1 ppm	< 1 ppm	< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
CH₄	< 1 ppm ※	< 0.5 ppm	< 0.1 ppm ※	< 720 ppt ※
SO₂		< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
NO_X		< 0.1 ppm	< 0.1 ppm
H₂O	< 5 ppm	< 5 ppm	< 0.5 ppm	< 0.5 ppm
容器	3.4L･10L･40L･47L			47L
充填量	11.76MPa			14.70MPa
容器弁	B･W22･14･OR
備考	※ 全炭化水素（メタン換算値）
圧力調整器	YBR

は全炭化水素（メタン換算値）

NO 一酸化窒素国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9

グレード	PURE	UHP
純度	＞99.0 %	＞99.7 %
N₂	< 5000 ppm	< 1000 ppm
CO₂	< 500 ppm	< 100 ppm
NO₂	< 1000 ppm	< 1000 ppm
N₂O	< 3000 ppm	< 1000 ppm
H₂O	< 10 ppm	< 5 ppm
容器	10L･47L
充填量	3.43MPa
容器弁	S･W22･14･OR
圧力調整器	YSR

O₂ 酸素国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7

グレード	ZERO-B	ZERO-C	ZERO-U
純度	＞99.7 %	＞99.9 %	＞99.999 %
N₂	< 1000 ppm		< 5 ppm
N₂+A_r		< 500 ppm
CO			< 0.5 ppm
CO₂			< 0.5 ppm
CH₄		< 15 ppm	< 0.5 ppm
H₂O	< 10 ppm	< 5 ppm	< 1 ppm
容器	3.4L･10L･40L･47L	10L･40L･47L
充填量	11.76MPa
容器弁	B･W22･14･OR
圧力調整器	YBR

Ne ネオン国連番号 1065 CAS No. 7440-01-9

グレード	PURE
純度	＞99.998 %
O₂	< 3 ppm
N₂	< 15 ppm
H₂O	< 3 ppm
容器	3.4L	10L	47L
充填量	170L	1000L	5000L
容器弁	B･W22･14･OR
圧力調整器	YBR

Kr クリプトン国連番号 1056 CAS No. 7439-90-9

グレード	PURE
純度	＞99.995 %
O₂	< 1 ppm
N₂	< 5 ppm
CO₂	< 0.2 ppm
X_e	< 35 ppm
H₂O	< 1 ppm
容器	3.4L	10L
充填量	100L	300L
容器弁	B･W22･14･OR
圧力調整器	YBR

Xe キセノン国連番号 2036 CAS No. 7440-63-3

グレード	PURE
純度	＞99.995 %
O₂	< 1 ppm
N₂	< 5 ppm
CO2	< 0.5 ppm
Kr	< 35 ppm
H₂O	< 1 ppm
容器	3.4L	10L
充填量	25L	100L
容器弁	B･W22･14･OR
圧力調整器	YBR

D₂ 重水素国連番号 1957 CAS No. 7782-39-0

グレード	PURE
純度	＞99.5 %
O₂	< 10 ppm
N2	< 10 ppm
CH₄	< 10 ppm
HD	< 0.5 %
H₂O	< 10 ppm
容器	3.4L	10L
充填量	100L	500L
容器弁	B･W22･14･OL
圧力調整器	YBL

半導体用ガス

IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造⽤の特殊材料ガスを⽣産しています。

NH3、CO、NO、C3H6 など

スペシャルティガス

分析基準の標準ガス、工業材料の混合ガス、高純度ガスなどを生産しています。

JCSS標準ガス、高純度液化ガス、高純度圧縮ガス、一般標準ガス、混合ガス、圧力調整器、調整弁

ガスケミカル

⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料（⼯業薬品）や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品（ケミカルガス）を⽣産しています。

工業薬品：チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス：液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素

エンジニアリング

PSA技術を利⽤したガス発⽣装置、ガス回収精製装置を⽣産しています。

O2-PSA装置、He回収精製装置など

ガス・エンジニアリング

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Air 合成空気 国連番号 1956

Ar アルゴン 国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1

CH4 メタン 国連番号 1971 CAS No. 74-82-8

CO 一酸化炭素 国連番号 1016 CAS No. 630-08-0

H2 水素 国連番号 1049 CAS No. 1333-74-0

He ヘリウム 国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

N2 窒素 国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9

NO 一酸化窒素 国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9

O2 酸素 国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7

Ne ネオン 国連番号 1065 CAS No. 7440-01-9

Kr クリプトン 国連番号 1056 CAS No. 7439-90-9

Xe キセノン 国連番号 2036 CAS No. 7440-63-3

D2 重水素 国連番号 1957 CAS No. 7782-39-0