ガス・
エンジニアリング

ガス・エンジニアリング ガス・エンジニアリング

高純度圧縮ガス(Compressed Pure Gases)

Air 合成空気 国連番号 1956

グレード ZERO-A ZERO-F ZERO-K (JCSS) ZERO-U ZERO-N
純度 O2 20-21.5% O2 20-21.5% O2 20-21.5% O2 20.5-20.9% O2 20.5-20.9%
N2 78.5-80% 78.5-80% 78.5-80% 79.1-79.5% 79.1-79.5%
CO < 1 ppm < 1 ppm < 1 ppm < 1 ppm < 0.01 ppm
CO2 < 2 ppm < 1 ppm < 1 ppm < 1 ppm < 0.02 ppm
CH4 < 3 ppm ※ < 0.5 ppm ※ < 0.5 ppm < 0.1 ppm ※ < 10 ppb ※
SO2     < 0.1 ppm < 0.01 ppm < 5 ppb
NOX     < 0.1 ppm < 0.01 ppm < 5 ppb
H2O < 10 ppm < 5 ppm < 5 ppm < 5 ppm < 1 ppm
容器 3.4L・10L・40L・47L 10L・40L・47L 3.4L・10L・40L・47L 3.4L・10L・40L・47L 47L
充填量 11.76MPa
容器弁 B・W22・14・OR
備考 全炭化水素(メタン換算値)
圧力調整器 YBR
  • は全炭化水素(メタン換算値)

Ar アルゴン 国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1

グレード ZERO-A ZERO-U
純度 >99.999 % >99.9999 %
O2 < 2 ppm < 0.2 ppm
N2 < 10 ppm < 1 ppm
CO < 0.5 ppm < 0.1 ppm
CO2 < 0.5 ppm < 0.1 ppm
CH4 < 0.5 ppm < 0.1 ppm
H2O < 5 ppm < 0.5 ppm
容器 3.4L・10L・40L・47L
充填量 11.76MPa
容器弁 B・W22・14・OR
圧力調整器 YBR

CH4 メタン 国連番号 1971 CAS No. 74-82-8

グレード PURE UHP
純度 >99.0 % >99.9 %
O2 < 500 ppm < 50 ppm
N2 < 5000 ppm < 1000 ppm
CO2 < 5000 ppm < 10 ppm
H2O   < 5 ppm
容器 3.4L・10L・47L
充填量 11.76MPa 9.80MPa
容器弁 B・W22・14・OL
圧力調整器 YBL

CO 一酸化炭素 国連番号 1016 CAS No. 630-08-0

グレード PURE UHP
純度 >99.9 % >99.95 %
O2 < 100 ppm < 30 ppm
N2 < 500 ppm < 150 ppm
CO2 < 100 ppm < 30 ppm
H2 < 100 ppm < 15 ppm
CH4   < 1 ppm
H2O < 10 ppm < 3 ppm
容器 3.4L・10L・47L
充填量 9.80MPa
容器弁 B・W22・14・OL
圧力調整器 YSL

H2 水素 国連番号 1049 CAS No. 1333-74-0

グレード ZERO-A ZERO-F ZERO-U
純度 >99.998 % >99.9995 % >99.9999 %
O2 < 1 ppm < 1 ppm < 0.1 ppm
N2 < 10 ppm < 2 ppm < 0.5 ppm
CO < 1 ppm < 0.5 ppm < 0.1 ppm
CO2 < 1 ppm < 0.5 ppm < 0.1 ppm
CH4 < 1 ppm < 0.5 ppm < 0.1 ppm
H2O < 5 ppm < 2 ppm < 0.5 ppm
容器 3.4L・10L・40L・47L
充填量 11.76MPa
容器弁 B・W22・14・OL
圧力調整器 YBL

He ヘリウム 国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

グレード ZERO-A ZERO-U ZERO-H
純度 >99.999 % >99.9999 % >99.9999 %
O2 < 1 ppm < 0.1 ppm < 0.1 ppm
N2 < 2 ppm < 0.1 ppm < 0.1 ppm
CO < 1 ppm < 0.1 ppm < 0.1 ppm
CO2 < 1 ppm < 0.1 ppm < 0.1 ppm
CH4 < 1 ppm < 0.1 ppm < 720 ppt ※
H2O < 5 ppm < 0.5 ppm < 0.5 ppm
容器 3.4L・10L・40L・47L 10L・40L・47L 47L
充填量 11.76MPa 11.76MPa 14.70MPa
容器弁 B・W22・14・OR  
備考 ※ 全炭化水素(メタン換算値)
圧力調整器 YBR
  • は全炭化水素(メタン換算値)

N2 窒素 国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9

グレード ZERO-A ZERO-K (JCSS) ZERO-U ZERO-H
純度 >99.999 % >99.999 % >99.9999 % >99.9999 %
O2 < 2 ppm < 1 ppm < 0.2 ppm < 0.2 ppm
CO < 1 ppm < 0.5 ppm < 0.2 ppm < 0.2 ppm
CO2 < 1 ppm < 1 ppm < 0.1 ppm < 0.1 ppm
CH4 < 1 ppm ※ < 0.5 ppm < 0.1 ppm ※ < 720 ppt ※
SO2   < 0.1 ppm < 0.1 ppm  
NOX   < 0.1 ppm < 0.1 ppm  
H2O < 5 ppm < 5 ppm < 0.5 ppm < 0.5 ppm
容器 3.4L・10L・40L・47L 47L
充填量 11.76MPa 14.70MPa
容器弁 B・W22・14・OR
備考 ※ 全炭化水素(メタン換算値)
圧力調整器 YBR
  • は全炭化水素(メタン換算値)

NO 一酸化窒素 国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9

グレード PURE UHP
純度 >99.0 % >99.7 %
N2 < 5000 ppm < 1000 ppm
CO2 < 500 ppm < 100 ppm
NO2 < 1000 ppm < 1000 ppm
N2O < 3000 ppm < 1000 ppm
H2O < 10 ppm < 5 ppm
容器 10L・47L
充填量 3.43MPa
容器弁 S・W22・14・OR
圧力調整器 YSR

O2 酸素 国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7

グレード ZERO-B ZERO-C ZERO-U
純度 >99.7 % >99.9 % >99.999 %
N2 < 1000 ppm   < 5 ppm
N2+Ar   < 500 ppm  
CO     < 0.5 ppm
CO2     < 0.5 ppm
CH4   < 15 ppm < 0.5 ppm
H2O < 10 ppm < 5 ppm < 1 ppm
容器 3.4L・10L・40L・47L 10L・40L・47L
充填量 11.76MPa
容器弁 B・W22・14・OR
圧力調整器 YBR

Ne ネオン 国連番号 1065 CAS No. 7440-01-9

グレード PURE
純度 >99.998 %
O2 < 3 ppm
N2 < 15 ppm
H2O < 3 ppm
容器 3.4L 10L 47L
充填量 170L 1000L 5000L
容器弁 B・W22・14・OR
圧力調整器 YBR

Kr クリプトン 国連番号 1056 CAS No. 7439-90-9

グレード PURE
純度 >99.995 %
O2 < 1 ppm
N2 < 5 ppm
CO2 < 0.2 ppm
Xe < 35 ppm
H2O < 1 ppm
容器 3.4L 10L
充填量 100L 300L
容器弁 B・W22・14・OR
圧力調整器 YBR

Xe キセノン 国連番号 2036 CAS No. 7440-63-3

グレード PURE
純度 >99.995 %
O2 < 1 ppm
N2 < 5 ppm
CO2 < 0.5 ppm
Kr < 35 ppm
H2O < 1 ppm
容器 3.4L 10L
充填量 25L 100L
容器弁 B・W22・14・OR
圧力調整器 YBR

D2 重水素 国連番号 1957 CAS No. 7782-39-0

グレード PURE
純度 >99.5 %
O2 < 10 ppm
N2 < 10 ppm
CH4 < 10 ppm
HD < 0.5 %
H2O < 10 ppm
容器 3.4L 10L
充填量 100L 500L
容器弁 B・W22・14・OL
圧力調整器 YBL

半導体用ガス

半導体用ガス

IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造⽤の特殊材料ガスを⽣産しています。

NH3、CO、NO、C3H6 など

スペシャルティガス

スペシャルティガス

分析基準の標準ガス、工業材料の混合ガス、高純度ガスなどを生産しています。

JCSS(国際MRA対応)標準ガス、一般標準ガス、混合ガス、高純度液化ガス、高純度圧縮ガス、圧力調整器、調整弁

ガスケミカル

ガスケミカル

⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料(⼯業薬品)や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品(ケミカルガス)を⽣産しています。

工業薬品:チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス:液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素

エンジニアリング

エンジニアリング

PSA技術を利⽤したガス発⽣装置、ガス回収精製装置を⽣産しています。

O2-PSA装置、He回収精製装置 など

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