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半導体用ガス

半導体用ガス CONTACT

NH₃　アンモニア
N₂O　亜酸化窒素
CO　一酸化炭素
NO　一酸化窒素
B₂H₆　ジボラン
HCl　塩化水素
SiH₂Cl₂　ジクロロシラン
CH₄　メタン
C₃H₆　プロピレン
C₂H₄　エチレン
C₃H₈　プロパン
H₂S　硫化水素
SO₂　二酸化硫黄
BCl₃　三塩化ホウ素
CF₄　四フッ化炭素
CO₂　二酸化炭素
N₂　窒素
O₂　酸素
Ar　アルゴン
He　ヘリウム
H₂　水素

NH₃　アンモニア国連番号 1005 CAS No.7664-41-7

グレード	OPT	RESEARCH	SEG
純度	＞99.99997 %	＞99.9995 %	＞99.999 %
容器・充填量	10L - 5kg ( 7.4m³ ) 47L - 25kg ( 37.1m³ ) 930L - 500kg ( 741.9m³ ) 1860L - 1000kg ( 1483.8m³ )
容器弁	S・W22・14・OL

グレード

OPT

RESEARCH

SEG

純度

＞99.99997 %

＞99.9995 %

＞99.999 %

容器・充填量

10L - 5kg ( 7.4m³ )

47L - 25kg ( 37.1m³ )

930L - 500kg ( 741.9m³ )

1860L - 1000kg ( 1483.8m³ )

容器弁

S・W22・14・OL

N₂O　亜酸化窒素国連番号 1070 CAS No. 10024-97-2

グレード	RESEARCH	SEG
純度	＞99.9995 %	＞99.999 %
容器・充填量	10L - 7.5kg ( 4.3m³ ) 47L - 30kg ( 17.2m³ ) 440L - 300kg ( 172.2m³ ) 360L×2本 - 500kg ( 287.1m³)
容器弁	S(B)・W22・14・OR

グレード

RESEARCH

SEG

純度

＞99.9995 %

＞99.999 %

容器・充填量

10L - 7.5kg ( 4.3m³ )

47L - 30kg ( 17.2m³ )

440L - 300kg ( 172.2m³ )

360L×2本 - 500kg ( 287.1m³)

容器弁

S(B)・W22・14・OR

CO　一酸化炭素国連番号 1016 CAS No. 630-08-0

グレード	SEG
純度	＞99.995 %
容器・充填量	10L - 9.80MPa ( 1.0m³ ) 47L - 9.80MPa ( 4.7m³ ) 47L×28本 - 9.80MPa ( 130.3m³ )
容器弁	S・W22・14・OL

グレード

SEG

純度

＞99.995 %

容器・充填量

10L - 9.80MPa ( 1.0m³ )

47L - 9.80MPa ( 4.7m³ )

47L×28本 - 9.80MPa ( 130.3m³ )

容器弁

S・W22・14・OL

NO　一酸化窒素国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9

グレード	EG
純度	＞99.8 %
容器・充填量	10L - 3.43MPa ( 0.4m³ ) 47L - 3.43MPa ( 1.7m³ ) 47L×10本 - 3.43MPa ( 16.6m³ )
容器弁	S・W22・14・OR

グレード

純度

＞99.8 %

容器・充填量

10L - 3.43MPa ( 0.4m³ )

47L - 3.43MPa ( 1.7m³ )

47L×10本 - 3.43MPa ( 16.6m³ )

容器弁

S・W22・14・OR

B₂H₆　ジボラン国連番号 1911 CAS No. 19287-45-7

グレード	EG
純度	＞99.999 %

混合製品

グレード	EG
バランスガス	H₂ , He , N₂ , Ar (EG)
B₂H₆	H₂ : 10 ppm ～ 20 % He , N₂, Ar : 1 ～ 10 %
容器・充填量	10L , 47L : 9.80MPa ( B₂H₆ ：～ 1 % ) 7.35MPa ( B₂H₆ ：～ 5 % ) 4.90MPa ( B₂H₆ ：～ 10 % ) 2.94MPa ( B₂H₆ ：～ 20 % )
容器弁	S・W22・14・OL

HCl　塩化水素国連番号 1050 CAS No. 7647-01-0

グレード	SEG	EG
純度	＞99.999 %	＞99.995 %
容器・充填量	47L - 25kg ( 17.2m³ )	10L - 6kg ( 4.1m³ ) 47L - 25kg ( 17.2m³ )
容器弁	S・W26・14・OR

グレード

SEG

純度

＞99.999 %

＞99.995 %

容器・充填量

47L - 25kg ( 17.2m³ )

10L - 6kg ( 4.1m³ )

47L - 25kg ( 17.2m³ )

容器弁

S・W26・14・OR

SiH₂Cl₂　ジクロロシラン国連番号 2189 CAS No. 4109-96-0

グレード	EG
純度	＞99.9 %
容器・充填量	10.1L - 9kg ( 2.3m³ ) 41L - 37kg ( 9.3m³ )
容器弁	S・W22・14・OL

グレード

純度

＞99.9 %

容器・充填量

10.1L - 9kg ( 2.3m³ )

41L - 37kg ( 9.3m³ )

容器弁

S・W22・14・OL

CH₄　メタン国連番号 1971 CAS No. 74-82-8

グレード	SEG	EG
純度	＞99.99 %	＞99.9 %
容器・充填量	10L - 9.80MPa ( 1.0m³ ) 47L - 9.80MPa ( 4.7m³ )
容器弁	B・W22・14・OL

グレード

SEG

純度

＞99.99 %

＞99.9 %

容器・充填量

10L - 9.80MPa ( 1.0m³ )

47L - 9.80MPa ( 4.7m³ )

容器弁

B・W22・14・OL

C₃H₆　プロピレン国連番号 1077 CAS No. 115-07-1

グレード	SEG
純度	＞99.99 %
容器・充填量	47L - 20kg ( 12.0m³ )
容器弁	S・W22・14・OL

C₂H₄　エチレン国連番号 1962 CAS No. 74-85-1

グレード	EG
純度	＞99.999 %
容器・充填量	47L - 5kg ( 4.5m³ )
容器弁	S・W22・14・OL

C₃H₈　プロパン国連番号 1978 CAS No. 74-98-6

グレード

純度

＞99.999 %

容器・充填量

10L - 4kg ( 2.3m³)

47L - 10 , 15kg ( 5.7 , 8.6m³ )

容器弁

S・W22・14・OL

混合製品

グレード	EG
バランスガス	H₂ (EG)
C₃H₈	10 % , 30 %
N₂	< 1 ppm
容器・充填量	10 , 47L : 4.80MPa ( C₃H₈ : 10 % ) : 1.60MPa ( C₃H₈ : 30 % )
容器弁	S・W22・14・OL

H₂S　硫化水素国連番号 1053 CAS No. 7783-06-4

グレード

純度

＞99.99 %

容器・充填量

10L - 7kg ( 5.2m³ )

47L - 30kg ( 22.2m³ )

容器弁

S・W22・14・OL

SO₂　二酸化硫黄国連番号 1079 CAS No. 7446-09-5

グレード	EG
純度	＞99.99 %
容器・充填量	10L - 10kg ( 3.9m³ )
容器弁	B・W22・14・OR

BCl₃　三塩化ホウ素国連番号 1741 CAS No. 10294-34-5

グレード

純度

＞99.999 %

容器・充填量

10L - 10kg ( 2.2m³ )

40L - 40kg ( 8.6m³ )

47L - 50kg ( 10.8m³ )

容器弁

S・W26・14・OR

CF₄　四フッ化炭素国連番号 1982 CAS No. 75-73-0

グレード

純度

＞99.99 %

容器・充填量

10L - 2kg ( 0.6m³ )

47L - 30kg ( 8.6m³ )

容器弁

B・W22・14・OL

CO₂　二酸化炭素国連番号 1013 CAS No. 124-38-9

グレード	EG
純度	＞99.995 %
容器・充填量	10L - 7.5kg ( 4.3m³ ) 40L - 30kg ( 17.2m³ )
容器弁	B・W22・14・OR

グレード

純度

＞99.995 %

容器・充填量

10L - 7.5kg ( 4.3m³ )

40L - 30kg ( 17.2m³ )

容器弁

B・W22・14・OR

N₂　窒素国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9

グレード	EG
純度	＞99.9999 %
容器・充填量	10L - 11.76MPa ( 1.2m³ ) 47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )
容器弁	B・W22・14・OR

グレード

純度

＞99.9999 %

容器・充填量

10L - 11.76MPa ( 1.2m³ )

47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )

容器弁

B・W22・14・OR

O₂　酸素国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7

グレード

純度

＞99.999 %

容器・充填量

10L - 11.76MPa ( 1.2m³ )

47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )

容器弁

B・W22・14・OR

Ar　アルゴン国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1

グレード	EG
純度	＞99.9999 %
容器・充填量	10L - 11.76MPa ( 1.2m³ ) 47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )
容器弁	B・W22・14・OR

グレード

純度

＞99.9999 %

容器・充填量

10L - 11.76MPa ( 1.2m³ )

47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )

容器弁

B・W22・14・OR

He　ヘリウム国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

グレード	EG
純度	＞99.9999 %
容器・充填量	10L - 11.76MPa ( 1.2m³ ) 47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )
容器弁	B・W22・14・OR

グレード

純度

＞99.9999 %

容器・充填量

10L - 11.76MPa ( 1.2m³ )

47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )

容器弁

B・W22・14・OR

H₂　水素国連番号 1049 CAS No.1333-74-0

グレード	EG
純度	＞99.9999 %
容器・充填量	10L - 11.76MPa ( 1.2m³ ) 47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )
容器弁	B・W22・14・OL

グレード

純度

＞99.9999 %

容器・充填量

10L - 11.76MPa ( 1.2m³ )

47L - 14.70MPa ( 7.0m³ )

容器弁

B・W22・14・OL

半導体用ガス

IC・メモリー・液晶・太陽電池等の半導体製造⽤の特殊材料ガスを⽣産しています。

NH3、CO、NO、C3H6 など

スペシャルティガス

分析基準の標準ガス、工業材料の混合ガス、高純度ガスなどを生産しています。

JCSS標準ガス、高純度液化ガス、高純度圧縮ガス、一般標準ガス、混合ガス、圧力調整器、調整弁

ガスケミカル

⼯業原料、電⼦材料⽤途で硫⻩を中⼼とした有機材料（⼯業薬品）や⼯業、⾷品⽤途向けのガス製品（ケミカルガス）を⽣産しています。

工業薬品：チオフェノール、チオアニソール、スルフォラン、SFS、塩化チオニール、塩化スルフリル、アンモニア水
ケミカルガス：液化硫化水素、液化亜硫酸ガス、亜酸化窒素

エンジニアリング

PSA技術を利⽤したガス発⽣装置、ガス回収精製装置を⽣産しています。

O2-PSA装置、He回収精製装置など

ガス・エンジニアリング

半導体用ガス

半導体用ガス CONTACT

NH3 アンモニア 国連番号 1005 CAS No.7664-41-7

N2O 亜酸化窒素 国連番号 1070 CAS No. 10024-97-2

CO 一酸化炭素 国連番号 1016 CAS No. 630-08-0

NO 一酸化窒素 国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9

B2H6 ジボラン 国連番号 1911 CAS No. 19287-45-7

混合製品

HCl 塩化水素 国連番号 1050 CAS No. 7647-01-0

SiH2Cl2 ジクロロシラン 国連番号 2189 CAS No. 4109-96-0

CH4 メタン 国連番号 1971 CAS No. 74-82-8

C3H6 プロピレン 国連番号 1077 CAS No. 115-07-1

C2H4 エチレン 国連番号 1962 CAS No. 74-85-1

C3H8 プロパン 国連番号 1978 CAS No. 74-98-6

混合製品

H2S 硫化水素 国連番号 1053 CAS No. 7783-06-4

SO2 二酸化硫黄 国連番号 1079 CAS No. 7446-09-5

BCl3 三塩化ホウ素 国連番号 1741 CAS No. 10294-34-5

CF4 四フッ化炭素 国連番号 1982 CAS No. 75-73-0

CO2 二酸化炭素 国連番号 1013 CAS No. 124-38-9

N2 窒素 国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9

O2 酸素 国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7

Ar アルゴン 国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1

He ヘリウム 国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

H2 水素 国連番号 1049 CAS No.1333-74-0

半導体用ガス

スペシャルティガス

ガスケミカル

エンジニアリング

ガス・
エンジニアリング

NH₃　アンモニア国連番号 1005 CAS No.7664-41-7

N₂O　亜酸化窒素国連番号 1070 CAS No. 10024-97-2

CO　一酸化炭素国連番号 1016 CAS No. 630-08-0

NO　一酸化窒素国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9

B₂H₆　ジボラン国連番号 1911 CAS No. 19287-45-7

HCl　塩化水素国連番号 1050 CAS No. 7647-01-0

SiH₂Cl₂　ジクロロシラン国連番号 2189 CAS No. 4109-96-0

CH₄　メタン国連番号 1971 CAS No. 74-82-8

C₃H₆　プロピレン国連番号 1077 CAS No. 115-07-1

C₂H₄　エチレン国連番号 1962 CAS No. 74-85-1

C₃H₈　プロパン国連番号 1978 CAS No. 74-98-6

H₂S　硫化水素国連番号 1053 CAS No. 7783-06-4

SO₂　二酸化硫黄国連番号 1079 CAS No. 7446-09-5

BCl₃　三塩化ホウ素国連番号 1741 CAS No. 10294-34-5

CF₄　四フッ化炭素国連番号 1982 CAS No. 75-73-0

CO₂　二酸化炭素国連番号 1013 CAS No. 124-38-9

N₂　窒素国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9

O₂　酸素国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7

Ar　アルゴン国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1

He　ヘリウム国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

H₂　水素国連番号 1049 CAS No.1333-74-0