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製品情報

半導体用ガス

NH3 アンモニア 国連番号 1005 CAS No.7664-41-7 

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グレード OPT RESEARCH SEG
純度 > 99.99997 % > 99.9995 % > 99.999 %
容器・充填量

10L - 5kg ( 7.4m3 )

47L - 25kg ( 37.1m3 )

930L - 500kg ( 741.9m3 )

1860L - 1000kg ( 1483.8m3 )

容器弁  S・W22・14・OL

2O 亜酸化窒素 国連番号 1070 CAS No. 10024-97-2 

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グレード RESEARCH SEG
純度 > 99.9995 % > 99.999 %
容器・充填量

10L - 7.5kg ( 4.3m3 )

47L - 30kg ( 17.2m3 )

440L - 300kg ( 172.2m3 )

360L×2本 - 500kg ( 287.1m3 )

容器弁 S(B)・W22・14・OR

CO 一酸化炭素 国連番号 1016 CAS No. 630-08-0 

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グレード SEG
純度 > 99.995 %
容器・充填量

10L - 9.80MPa ( 1.0m3 )

47L - 9.80MPa  ( 4.7m3 )

47L×28本 - 9.80MPa  ( 130.3m3 )

容器弁  S・W22・14・OL

NO 一酸化窒素 国連番号 1660 CAS No. 10102-43-9  

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グレード EG
純度 > 99.8 %
容器・充填量

10L - 3.43MPa ( 0.4m3 )

47L - 3.43MPa  ( 1.7m3 )

47L×10本 - 3.43MPa  ( 16.6m3 )

容器弁  S・W22・14・OR

B2H6 ジボラン 国連番号 1911 CAS No. 19287-45-7  

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グレード EG
純度 > 99.999 %
■ 混合製品
グレード EG
バランスガス H2 , He , N2 , Ar (EG)
B2H6

H2 : 10 ppm ~ 20 %

He , N2 , Ar : 1 ~ 10 %

容器・充填量

10L , 47L : 9.80MPa ( B2H6 : ~ 1 % )

                 7.35MPa ( B2H6 : ~ 5 % )

                 4.90MPa ( B2H6 : ~ 10 % )

                 2.94MPa ( B2H6 : ~ 20 % )

容器弁  S・W22・14・OL

HCl 塩化水素 国連番号 1050 CAS No. 7647-01-0 

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グレード SEG EG
純度 > 99.999 % > 99.995 %
容器・充填量

10L - 5kg ( 3.4m3 )

47L - 25kg ( 17.2m3 )

10L - 6kg ( 4.1m3 )

47L - 25kg ( 17.2m3 )

容器弁  S・W26・14・OR

SiH2Cl2 ジクロロシラン 国連番号 2189 CAS No. 4109-96-0 

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グレード EG
純度 > 99.9 %
容器・充填量

10.1L - 9kg ( 2.3m3 )

41L - 37kg ( 9.3m3 )

容器弁  S・W22・14・OL

CH4 メタン 国連番号 1971 CAS No. 74-82-8 

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グレード RESEARCH SEG EG
純度 > 99.9999 % > 99.99 % > 99.9 %
容器・充填量 47L - 14.70MPa  ( 7.0m3 )

10L - 9.80MPa  ( 1.0m3 )

47L - 9.80MPa  ( 4.7m3 )

容器弁  B・W22・14・OL

C3H6 プロピレン 国連番号 1077 CAS No. 115-07-1 

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グレード SEG
純度 > 99.99 %
容器・充填量 47L - 20kg ( 12.0m3 )
容器弁 S・W22・14・OL

C2H4 エチレン 国連番号 1962 CAS No. 74-85-1 

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グレード EG
純度 > 99.999 %
容器・充填量 47L - 5kg ( 4.5m3 )
容器弁  S・W22・14・OL

C3H8 プロパン 国連番号 1978 CAS No. 74-98-6 

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グレード EG
純度 > 99.999 %
容器・充填量

10L - 4kg ( 2.3m3 )

47L - 10 , 15kg ( 5.7 , 8.6m3 )

容器弁  S・W22・14・OL
■混合製品
グレード EG
バランスガス H2 (EG)
C3H8 10 % , 30 %
N2 < 1 ppm
容器・充填量

10 , 47L : 4.80MPa ( C3H8 : 10 % )

             : 1.60MPa ( C3H8 : 30 % ) 

容器弁 S・W22・14・OL

H2S 硫化水素 国連番号 1053 CAS No. 7783-06-4 

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グレード EG
純度 > 99.99 %
容器・充填量

10L - 7kg ( 5.2m3 )

47L - 30kg ( 22.2m3 )

容器弁  S・W22・14・OL

SO2 二酸化硫黄 国連番号 1079 CAS No. 7446-09-5

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グレード EG
純度 > 99.99 %
容器・充填量 10L - 10kg ( 3.9m3 )
容器弁 B・W22・14・OR

BCl3 三塩化ホウ素 国連番号 1741 CAS No. 10294-34-5 

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グレード EG
純度 > 99.999 %
容器・充填量

10L - 10kg ( 2.2m3 )

40L - 40kg ( 8.6m3 )

47L - 50kg ( 10.8m3 )

容器弁  S・W26・14・OR

CF4 四フッ化炭素 国連番号 1982 CAS No. 75-73-0 

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グレード EG
純度 > 99.99 %
容器・充填量

10L - 2kg ( 0.6m3 )

47L - 30kg ( 8.6m3 )

容器弁  B・W22・14・OL

CO2 二酸化炭素 国連番号 1013 CAS No. 124-38-9 

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グレード EG
純度 > 99.995 %
容器・充填量

10L - 7.5kg ( 4.3m3 )

40L - 30kg ( 17.2m3 )

容器弁  B・W22・14・OR

N2 窒素 国連番号 1066 CAS No. 7727-37-9 

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グレード EG
純度 > 99.9999 %
容器・充填量

10L - 11.76MPa  ( 1.2m3 )

47L - 14.70MPa  ( 7.0m3 )

容器弁  B・W22・14・OR

O2 酸素 国連番号 1072 CAS No. 7782-44-7 

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グレード EG
純度 > 99.999 %
容器・充填量

10L - 11.76MPa  ( 1.2m3 )

47L - 14.70MPa  ( 7.0m3 )

容器弁  B・W22・14・OR

Ar アルゴン 国連番号 1006 CAS No. 7440-37-1 

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グレード EG
純度 > 99.9999 %
容器・充填量

10L - 11.76MPa  ( 1.2m3 )

47L - 14.70MPa  ( 7.0m3 )

容器弁  B・W22・14・OR

He ヘリウム 国連番号 1046 CAS No. 7440-59-7

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グレード EG
純度 > 99.9999 %
容器・充填量

10L - 11.76MPa  ( 1.2m3 )

47L - 14.70MPa  ( 7.0m3 )

容器弁  B・W22・14・OR

H2 水素 国連番号 1049 CAS No.1333-74-0 

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グレード EG
純度 > 99.9999 %
容器・充填量

10L - 11.76MPa  ( 1.2m3 )

47L - 14.70MPa  ( 7.0m3 )

容器弁  B・W22・14・OL

用途事例一覧

住友精化の製品は、さまざまなところで使われています。